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热式气体质量量控制器 型号;HA-S48 32/HMT编号项目S48 32/HMT1量规格(10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min;(1,2,3,5,10,20,30)L/min2调节阀类型电磁调节阀3调节阀静止状态常闭4安装方向意5量控制范围2%-6量测量范围(0-100)%7零点温漂0.6
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品牌 | 其他品牌 | 产地类别 | 国产 |
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热式气体质量量控制器 型号;HA-S48 32/HMT
热式气体质量量控制器
编号 | 项目 | S48 32/HMT |
1 | 量规格 | (10,20,30,50,100,200,300,500)mL/min; (1,2,3,5,10,20,30)L/min |
2 | 调节阀类型 | 电磁调节阀 |
3 | 调节阀静止状态 | 常闭 |
4 | 安装方向 | 意 |
5 | 量控制范围 | 2%- |
6 | 量测量范围 | (0-100)% |
7 | 零点温漂 | 0.6%F.S.(15~35℃) |
8 | 响应时间 | 2s(T98,设定值的±2%F.S.) |
9 | 作环境温度 | 5~50℃ |
10 | 度保证温度 | 15~35℃ |
11 | 度 | ±1.0%F.S |
12 | 线性 | ±0.5%F.S |
13 | 重复度 | ±0.2%F.S |
14 | 作压差范围 | ~5L/min:(0.05-0.3)MPa 10L/min~30L/min:(0.1-0.3)MPa |
15 | 耐压 | 3MPa |
16 | 漏率 | 1×10-8Pa.m3/s(He) |
17 | 管路接头 | 1/4″Swagelok,Φ6mm-Φ10mm |
18 | 供电电源 | ±15VDC(±5%) +15V,100mA;-15V, 200mA |
19 | 设定信号 | (0-5)VDC 输入阻抗>1MΩ |
20 | 量输出信号 | (0-5)VDC 负载输出电能力≤3mA |
21 | 电气接头 | D-SUB15 |
22 | 尺寸 (mm) | 113(宽)×121()×32(厚) |
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